電容敏感元件用于將被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換為與之成一定關(guān)系的電輸出壓力傳感器。它通常使用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的電極。當(dāng)薄膜感受到壓力并變形時(shí)，薄膜與固定電極之間形成的電容量發(fā)生變化，與電壓成一定關(guān)系的電信號(hào)可以通過測(cè)量電路輸出。電容式壓力傳感器可分為單電容式壓力傳感器和差動(dòng)電容式壓力傳感器。
  它由圓形薄膜和固定電極組成。薄膜在壓力的作用下變形，從而改變電容器的容量。其靈敏度大致與薄膜的面積和壓力成正比，與薄膜的張力和從薄膜到固定電極的距離成反比。另一種類型的固定電極呈凹形球形，薄膜為周圍固定的張緊平面，可采用塑料鍍金屬層制成。這種類型適用于測(cè)量低壓和高過載能力。高壓測(cè)量的單電容式壓力傳感器也可以用活塞動(dòng)極膜片制成。這種類型可以減少薄膜的直接壓力面積，從而使用薄膜來提高靈敏度。它還與各種補(bǔ)償和保護(hù)部門和放大電路封裝在一起，以提高抗干擾能力。該傳感器適用于測(cè)量動(dòng)態(tài)高壓和飛遙測(cè)。單電容式壓力傳感器包括傳聲器(即麥克風(fēng))和聽診器。
  它的壓力膜片電極位于兩個(gè)固定電極之間，形成兩個(gè)電容器。在壓力的作用下，一個(gè)電容器的容量增加，另一個(gè)電容器相應(yīng)減小，測(cè)量結(jié)果由差動(dòng)電路輸出。它的固定電極由凹曲玻璃表面的鍍金屬層制成。過載時(shí)，膜受到凹面的保護(hù)，不會(huì)破裂。差動(dòng)電容式壓力傳感器靈敏度高，線性好，但加工困難(尤其是對(duì)稱性難以保證)，無法隔離被測(cè)氣體或液體，不適合在腐蝕性或雜質(zhì)流體中工作。